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更新日期：2024-03-24
簡要描述：
日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020緊湊型緊湊型氣體加熱，最高加熱溫度為200°C。
| 品牌 | 其他品牌 |
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日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
緊湊型緊湊型氣體加熱，最高加熱溫度為200°C。
設(shè)計緊湊，面之間 160 mm ×寬 55 mm
加熱 N2 氣體 10SLM 至 200°C
能夠加熱不腐蝕氣體接觸材料的氣體（SUS316L）
也可在真空和加壓下使用
液化氣體通常用于ALD和CVD等真空沉積，但用室溫氣體吹掃會使溫度冷卻并冷凝，相反，吹掃可能不足。 這就是熱吹掃的用武之地。 緊湊型氣體加熱器 （HX-0020） 的占地面積與 MFC 沒有太大區(qū)別，可以加熱到 200°C，使氣體加熱接近使用點，使其成為 ALD 和 CVD 等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。
日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
| 流量（N2當(dāng)量） | 壓降 （N2） | 耐壓 （G） | 工作溫度 | 氣體接觸部件材料 | |
| 規(guī)范 | 10SLM | 14kPa | 1兆帕 | 200°C | 不銹鋼316L |
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