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日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡

訪問次數(shù):1867

更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡,配備 300 毫米晶圓載物臺。
載物臺可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置,實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡
品牌其他品牌類型其他
測量范圍1產(chǎn)地進(jìn)口

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡,配備 300 毫米晶圓載物臺。
載物臺可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置,實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。

配備專有的 300mm 晶圓載物臺

配備專用載物臺,最大可放置300mm的大直徑晶圓。真空吸附機(jī)構(gòu)使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺上。由于載物臺具有較寬的可移動范圍,因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進(jìn)行捕捉和測量。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺中央的凹槽中。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡

用于快速可靠地捕獲測量目標(biāo)的載物臺導(dǎo)航

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡


高性能拉曼光譜成像

為了顯著提高拉曼圖像的采集速度,我們開發(fā)了一種的線照明技術(shù),將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上。從樣品上的線形照明區(qū)域同時檢測到 400 個拉曼光譜。此外,通過安裝高精度掃描鏡,實現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后,無需移動載物臺,只需幾分鐘即可獲得超過 100,000 像素的高清拉曼圖像。

RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學(xué)器件,在所有 XYZ 方向上擁有最高的空間分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠?qū)?yīng)力和多型進(jìn)行高度準(zhǔn)確的分析。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡

識別 100 nm 或更小的微小異物

空間分辨率顯著提高了對小于光斑尺寸的顆粒的檢測靈敏度。選配的高品質(zhì)暗場觀察功能可清晰確認(rèn)100nm以下微小異物的位置,高精度激光束掃描將激光束準(zhǔn)確照射到異物中心??梢垣@得具有高信噪比的拉曼光譜,從而可以高精度地識別污染物。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡

3D 拉曼成像以可視化應(yīng)力分布

RAMANdrive 配備高性能共焦光學(xué)器件,可對 SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進(jìn)行深度成像。通過斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應(yīng)力分布的數(shù)據(jù)表明,研磨劃痕引起的應(yīng)力通過拋光得到了降低。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

規(guī)格

主要業(yè)績


空間分辨率(X/Y/Z)350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA)
光譜測量范圍100 cm -1 ~ (選項:50 cm -1 ~)
光譜分辨率 (FWHM)1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm)
光譜像素分辨率0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm)
峰值定位精度0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm)


主要規(guī)格


激光波長325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm等
激光照射方式點光源/線光源
光譜儀焦距550mm
光柵內(nèi)置 3 張 150、300、600、1200、1800、2400 g/mm
探測器熱電冷卻 CCD 1340 × 400 像素


車身尺寸和重量


尺寸(寬x高x深)1276×1350×1320mm(含防震臺)
重量390kg(含防震臺)







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