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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)

訪問(wèn)次數(shù)：1226

更新日期：2024-03-19

簡(jiǎn)要描述：

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。
使用磁控管陰極
內(nèi)置微型計(jì)算機(jī)對(duì)成膜過(guò)程進(jìn)行高精度控制

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)
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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ


特征


  • 支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。

  • 使用磁控管陰極

  • 內(nèi)置微型計(jì)算機(jī)對(duì)成膜過(guò)程進(jìn)行高精度控制

  • 操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)兩種模式

  • 標(biāo)配自動(dòng)快門機(jī)構(gòu)

應(yīng)用/結(jié)果示例


  • W / Ni / Cr / Ti等的成膜

  • 燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

基本規(guī)格


陰極φ2英寸磁控管陰極
快門機(jī)制自動(dòng)/手動(dòng)操作
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥（自動(dòng)/手動(dòng)控制）
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵：100l / min（有自動(dòng)泄漏）
箱體尺寸內(nèi)徑φ160mmx D160mm（SUS制）
樣品交換方法前門開合式
尺寸（寬/深/高）機(jī)身：
360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm
重量身體：20公斤
RP：23公斤


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