用于導(dǎo)電薄膜制造的濺射設(shè)備-臺式涂布機(jī)
特征
應(yīng)用/結(jié)果示例
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
間歇功能 | 標(biāo)配 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動(dòng)泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:10公斤RP:9公斤 |
SC-701MkⅡ進(jìn)階
高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī),適用于各種金屬,例如鎳,鉻,鎢,鈦,鋁 |
SC-701AT
只需設(shè)置樣本并等待。全自動(dòng)濺射,膜厚可調(diào)。 |
SC-701HMCⅡ
磁控管類型適用于W / Ti / Cr等薄膜生產(chǎn)。微電腦控制/自動(dòng)快門標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。 |
SC-701MkⅡ
該系列中小的濺射,使電極薄膜的制造變得容易 |
SC-701MC
使用對樣品友好的磁控管陰極。膜厚可控的全自動(dòng)模型。 |
SC-708系列
非常適合在大型基板上進(jìn)行薄膜制造以及PDMS的表面處理 |
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