從Si晶圓到玻璃基板：YP-150I/250I的跨行業(yè)檢測適配性

發(fā)布日期：2025-07-23      瀏覽次數(shù)：20

山田光學(xué)的YP-150I和YP-250I高亮度鹵素檢查燈憑借400,000 Lux超高照度、3400K色溫白光及冷鏡技術(shù)，在半導(dǎo)體、液晶面板、光學(xué)元件等多個行業(yè)的高精度檢測中占據(jù)重要地位。以下是其跨行業(yè)適配性的深度解析：

1. 半導(dǎo)體行業(yè)：Si晶圓與化合物半導(dǎo)體的高精度檢測

（1）Si晶圓（6英寸/8英寸）

• YP-150I：30mmφ光斑適配6英寸晶圓，可檢測0.2 μm級劃痕、拋光不均及CMP工藝殘留。

• YP-250I：60mmφ光斑覆蓋8英寸晶圓，適合大尺寸晶圓的整面掃描，提升檢測效率。

• 冷鏡技術(shù)：減少熱輻射，避免晶圓受熱翹曲（尤其對薄化晶圓至關(guān)重要）。

（2）化合物半導(dǎo)體（SiC/GaAs）

• SiC晶圓：YP-150I的高對比度照明可識別表面微裂紋，避免因硬脆材料加工導(dǎo)致的隱形缺陷。

• GaAs晶圓：3400K色溫減少熒光干擾，精準(zhǔn)檢測外延層生長不均問題。

2. 液晶面板行業(yè)：玻璃基板與OLED的缺陷控制

（1）LCD玻璃基板

• ITO鍍層檢測：YP-250I的60mm光斑均勻照射，識別鍍層氣泡、劃痕，避免Mura（亮度不均）問題9。

• 偏光片貼合檢查：400,000 Lux照度穿透高反射層，發(fā)現(xiàn)貼合偏移或異物。

（2）OLED/柔性屏

• 熱敏感材料適配：冷鏡技術(shù)使熱輻射降低至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3，避免柔性基板受熱變形。

• AMOLED像素檢測：YP-150I的30mm光斑精準(zhǔn)定位微米級暗點，提升良率。

3. 光學(xué)元件與精密制造：從透鏡到金屬加工

（1）光學(xué)鏡片/棱鏡

• 鍍膜缺陷檢測：YP-150I識別AR鍍膜的納米級針孔，避免光學(xué)畸變。

• 應(yīng)力分析輔助：結(jié)合偏振光檢測設(shè)備（如StrainViewerSV200），YP-250I提供均勻照明，輔助內(nèi)應(yīng)力分布測量。

（2）金屬/陶瓷部件

• 精密機加工件：檢測毛刺、微裂紋（如汽車發(fā)動機部件），YP-250I的寬光斑適配曲面檢測。

• 3D打印件：YP-150I的高對比度光路凸顯層紋缺陷，優(yōu)化后處理工藝。

4. 跨行業(yè)核心優(yōu)勢總結(jié)

行業(yè)	適配型號	關(guān)鍵應(yīng)用	技術(shù)優(yōu)勢
半導(dǎo)體	YP-150I	Si/GaAs晶圓微缺陷檢測	0.2 μm分辨率，冷鏡防熱變形
液晶面板	YP-250I	ITO鍍層、偏光片檢測	60mm均勻光斑，減少Mura漏檢
光學(xué)元件	YP-150I	鍍膜針孔、透鏡劃痕	30mm高密度點光源，納米級靈敏度
精密制造	YP-250I	金屬/陶瓷表面裂紋	寬光斑適配曲面，350W高功率照明

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5. 選型建議：行業(yè)導(dǎo)向決策

• 小尺寸高精度（<50mm）：選YP-150I（如6英寸晶圓、手機屏）。

• 大尺寸均勻性（>50mm）：選YP-250I（如8英寸晶圓、TV面板）。

• 熱敏感環(huán)境：優(yōu)先YP系列（冷鏡技術(shù)），替代傳統(tǒng)金屬鹵素?zé)簟?/span>

未來趨勢：盡管LED光源在壽命（30,000小時）上占優(yōu)，但YP系列的3400K全光譜與400,000 Lux照度仍是高精度檢測的黃金標(biāo)準(zhǔn)，尤其在跨行業(yè)兼容性上不可替代。