濺射設(shè)備SC-701MkII的原理分析
它是一種將薄膜附著到物質(zhì)上的方法,與電鍍不同,它是在真空中進(jìn)行的,不使用化學(xué)品。(在半導(dǎo)體制造中,濕法工藝稱(chēng)為干法工藝。)
將待涂覆的樣品和薄膜的原材料(目標(biāo))放在附近。
整體處于真空狀態(tài),樣品與靶材之間施加電壓。
電子和離子高速運(yùn)動(dòng),離子與目標(biāo)碰撞。高速運(yùn)動(dòng)的電子和離子與氣體分子碰撞,撞擊分子的電子并變成離子。
與目標(biāo)碰撞的離子會(huì)排斥目標(biāo)粒子。(濺射現(xiàn)象)
被排斥的原料顆粒碰撞并粘附在樣品上,形成薄膜。
DC 濺射類(lèi)別中最小的超緊湊型號(hào)。
配備皮拉尼真空計(jì),確保成膜條件的再現(xiàn)性
標(biāo)準(zhǔn)配備手動(dòng)快門(mén)
使用專(zhuān)用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松改變 TS 之間的距離。
可以進(jìn)行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。
將電極膜粘貼到各種設(shè)備上
用于反射薄膜生產(chǎn)等。
陰極 | φ2英寸直流磁控管/扁平電極 |
適用對(duì)象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
壓力測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
壓力控制 | 帶針閥手動(dòng)控制 入口直徑 φ6mm 一觸式接頭 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯(lián)旋轉(zhuǎn)泵:20L/min(帶自動(dòng)泄漏) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90×D90mm(SUS材質(zhì)) |
樣品交換方式 | 前門(mén)開(kāi)閉方式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身:160/450/290mm 轉(zhuǎn)速:295.5/156/199.5mm |
重量 | 本體:9kg RP:9kg |
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