薄膜和微區(qū)域的熱射流率檢測設(shè)備介紹
金屬薄膜沉積在樣品上,并使用加熱激光定期加熱。
金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的特性(熱阻法),因此我們可以通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強(qiáng)度的變化來測量表面的相對溫度變化。去做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位滯后。該相位延遲根據(jù)樣品的熱特性而變化。通過測量該加熱光和檢測光之間的相位延遲來確定熱射流率。
熱物性顯微鏡是測量熱射流率的裝置,熱射流率是熱物性值之一。
這是一種可以測量樣品的點(diǎn)、線、面熱物理性質(zhì)的裝置。
還可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
這是第一個能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測量的設(shè)備。
檢測光斑直徑為 3 μm,可實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物性測量(點(diǎn)、線、面測量)。
由于可以在不同深度進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜、多層膜到散裝材料的所有物體。
也可以測量基材上的樣品。
使用激光的非接觸式測量。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物性顯微鏡/熱顯微鏡 |
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測量模式 | 熱物性分布測量(一維/二維/1點(diǎn)) |
測量項(xiàng)目 | 熱射流率,(熱擴(kuò)散率),(導(dǎo)熱率) |
檢測光斑直徑 | 約3μm |
1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時間 | 10秒 |
待測薄膜 | 厚度:數(shù)百nm至數(shù)十μm |
重復(fù)性 | Pyrex 和硅的熱射流率小于±10% |
樣本 | 1. 樣品架30mm x 30mm,厚度5mm 2. 板狀樣品30mm x 30mm以下,厚度3mm以下
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工作溫度限制 | 24℃±1℃(根據(jù)設(shè)備內(nèi)置溫度傳感器) |
載物臺行程距離 | ?X軸方向20mm ?Y軸方向20mm ?Z軸方向10mm |
加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長:808nm |
檢測激光 | 半導(dǎo)體激光波長:658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架、參考樣品 |
選項(xiàng) | 光學(xué)平臺、空調(diào)、空調(diào)房、濺射設(shè)備 |