日本標準用薄膜測厚儀技術
發(fā)布日期:2022-03-25 瀏覽次數(shù):802
日本標準用薄膜測厚儀技術
工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個重要的參數(shù)。在實際的應用中,測量薄膜的厚度的方法有很多。
薄膜;厚度;測量;方法;光學;非光學
什么是薄膜厚度
通常情況下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實際上,薄膜的表面是不平整,不連續(xù)的,且薄膜內部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類:形狀厚度,質量厚度,物性厚度。形狀厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離;質量厚度指的是薄膜的質量除以薄膜的面積得的厚度,也可以是單位面積所具有的質量(g/cm2);物性厚度指的是根據(jù)薄膜材料的物理性質的測量,通過一定的對應關系計算而得到的厚度。
薄膜測試儀連續(xù)測厚機FT-A200/FT-A200R
配備高精度測量頭和放大器單元的機器。
只需設置從生產(chǎn)線切出的薄膜,即可輕松連續(xù)測量厚度。
FT-A200 測量范圍/10μm至200μm
FT-A200R 測量范圍/3μm至100μm
測量分辨率/0.01μm